Kvarca Oblata Substrato
Kvarcaj Oblataj Substratoj estas oblatoj ĉefe faritaj el alta-pura kvarco (SiO₂), vaste uzata en duonkonduktaĵoj, optoelektroniko, mikro-elektromekanikaj sistemoj (MEMS), optikaj aparatoj, kaj aliaj kampoj. Malsupre estas detala enkonduko al kvarcoblataj substratoj
Priskribo
Materialaj Propraĵoj
(1) Alta Pureco: Tipe farita el sinteza kvarco (ekz., fandita siliko), kun ekstreme alta pureco (Pli granda aŭ egala al 99,99%) kaj minimumaj malpuraĵoj por eviti influi la agadon de la aparato.
(2) Termika Stabileco : Malalta koeficiento de termika ekspansio (≈0.55×10⁻⁶/ grado) kaj alta -temperatura rezisto (moligpunkto ~1600 gradoj), taŭga por altaj-temperaturaj procezoj.
(3) Optika Rendimento: Larĝa dissenda gamo (UV al IR), kun escepta UV-transformo, ideala por fotomaskoj, lensoj, ktp.
(4) Kemia Inerteco: Imuna al acidoj kaj alkaloj (krom fluorfluora acido), taŭga por malsekaj akvafortaj procezoj.
(5) Electrical Insulation : High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), ideala por izolaj substratoj aŭ altfrekvencaj aparatoj.
Aplikoj
Semikonduktaĵa Fabrikado
Substratoj de fotomasko
EUV-litografiokomponentoj
Oblatoj prilaboraj portantoj
Fotoniko kaj Optoelektroniko
Optikaj ondgvidsubstratoj
Laserdiodo muntado
Kvantuma komputiko komponantoj
Specialaj Aplikoj
MEMS-resonatorbazoj
Kosmoteleskopoptiko
Alta-laseraj sistemoj
Fabrika Procezo
① Krudmateriala Sintezo: Produktita per vapordemetado (ekz., SiCl₄ oksigenado) aŭ purigado de natura kvarco.
② Fandado kaj Formado : Alt{0}}temperatura fandado sekvata de malvarmigo en ingotojn aŭ rekta tirado en bastonojn.
③ Tranĉado: Tranĉita en maldikajn oblatojn per diamantaj drataj segiloj aŭ lasera tranĉado.
④ Muelado kaj Polurado : Kemia mekanika polurado (CMP) atingas nanometro{0}}nivelan glatecon.
⑤ Purigado kaj Inspektado: Forigo de partikloj kaj metalaj poluaĵoj, sekvata de difekto kaj parametro-testado.
Propraĵoj
|
Fizikaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Pureco |
＞99.99% |
|
Denso |
2,2 g/cm3 |
|
Travidebleco |
＞90% |
|
Mohs Malmoleco |
5.5--6.5 |
|
Punkto de deformado |
1280 gradoj |
|
Moliga Punkto |
1750 gradoj |
|
Kuracia Punkto |
1250 gradoj |
|
Specifa Varmo (20 - 350 grado) |
670J/kg. gradon |
|
Termika Kondukto (20 gradoj) |
1.4W/m. gradon |
|
Varmokondukteco (w/mk, 1000 gradoj) |
1.0-1.2 |
|
Refrakta Indekso |
1.4585 |
|
Koeficiento de Termika Ekspansio |
5.510 -7cm/cm. gradon |
|
Varma - labortemperaturo |
1750 ~ 2050 gradoj |
|
Mallonga - Serva Temperaturo |
1450 gradoj |
|
Longtempa - Serva Temperaturo |
1100 gradoj |
|
Kemiaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Acida imuna |
Forta Acido (krom HF), Forta alkala, organika solvo |
|
Altaj temperaturoj Imuna al korodo |
Bonega |
|
Metala Malpura Enhavo |
malpli ol 5 ppm |
|
Elektraj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Rezisteco |
7107Ω.cm |
|
Izola Forto |
250~400Kv/cm |
|
Dielektrika Konstanto |
3.7~3.9 |
|
Dielektra Sorba Koeficiento |
＜410-4 |
|
Dielektrika Perda Koeficiento |
＜110-4 |
|
Mekanikaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Kunprema Forto |
1100MPa |
|
Fleksa Forto |
67MPa |
|
Tensila Forto |
48MPa |
|
Rilatumo de Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modulo de Young |
72000MPa |
|
Tonda Modulo |
31000MPa |
Kial Elekti Nin:
Personigo:
Agordu viajn produktojn laŭ viaj postuloj
24 Reta Servo:
Prilaboru viajn komentojn ĝustatempe
Konkurenciva prezo:
Fabrika prezo sed alta-kvalito
Tutmonda sendo:
Pordo-al-livero
Oftaj Demandoj
Q1: Kio estas la maksimuma grandeco de la substratoj de kvarco disponeblaj?
R: Norma produktado ĝis 300mm diametro, kun 450mm prototipoj disponeblaj por R&D.
Q2: Ĉu vi povas provizi personecigitajn dikajn profilojn?
R: Jes, ni povas produkti:
Kojnaj oblatoj (por laseraplikoj)
Precize pintigitaj dezajnoj
Tablo-strukturitaj surfacoj
Q3: Kian purigan protokolon vi rekomendas?
A: Norma RCA-pura procezo:
1. Organika forigo (H₂SO₄: H₂O₂)
2. Jona purigado (HCl: H₂O₂)
3. HF-lasas por hidrofila surfaco
Varma Etikedoj: kvarco oblato substrato, Ĉinio kvarco oblato substrato fabrikistoj, provizantoj, fabriko
Sendu demandon
Eble Ankaŭ Vi Ŝatus
