Kvarca Oblato Puriganta Boato
Kvarca oblata purigadboato estas aparato uzata por oblata purigado en la semikonduktaĵa produktadprocezo.
Materialo: 99,99% kvarco
Priskribo
Trajtoj
- Rezisto al alta temperaturo
- Korodrezisto
- Eluziĝorezisto
- Facila purigi
Uzo: forigi surfacajn poluaĵojn
Certigu la produktadkvaliton de semikonduktaĵaj blatoj.
Apliko
1. Antaŭ-Difuza Purigado
Uzita por transporti oblatojn tra malsekaj benkaj aŭ mergaj purigaj paŝoj (ekz., RCA-purigado) por forigi organikajn, metalajn kaj partiklajn poluaĵojn antaŭ alt-temperaturaj disvastigo aŭ oksigenadprocezoj.
2. Post-CMP (Kemia Mekanika Planaro) Purigado
Tenas oblatojn dum post-poluraj purigadoj por forigi suspensiaĵrestaĵojn kaj surfacajn difektojn, certigante optimuman platecon por postaj litografiopaŝoj.
3. Antaŭ-Fin-de-linia (FEOL) Fabrikado
Uzite en kritikaj FEOL-purigadfazoj kie ultra-puraj surfacoj estas postulataj por pordega oksidkresko, epitaksia demetaĵo aŭ jon-enplantado.
4. Malantaŭa-Fino-de-Linia (BEOL) Pretigo
Subtenas oblatojn dum post-gravurado aŭ post-depona purigado por forigi fotoreziston, gravurajn kromproduktojn kaj metalajn malpuraĵojn post interkonektformado.
5. Altnivela Pakado
Faciligas purigadon de obla-nivelo antaŭ tranĉado aŭ ligado en 2.5D/3D IC-pakaĵo, certigante poluadon-liberajn interfacojn por fidindaj interkonektiĝoj.
6. Fotovoltaika Fabrikado
Uzita en sunĉela produktado por purigi siliciajn substratojn, plibonigante surfacan kvaliton por plibonigita lumsorbado kaj energikonverta efikeco.
Propraĵoj
|
Fizikaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Pureco |
＞99.99% |
|
Denso |
2,2 g/cm3 |
|
Travidebleco |
＞90% |
|
Mohs Malmoleco |
5.5--6.5 |
|
Punkto de deformado |
1280 gradoj |
|
Moliga Punkto |
1750 gradoj |
|
Kuracia Punkto |
1250 gradoj |
|
Specifa Varmo (20 - 350 grado) |
670J/kg. gradon |
|
Termika Kondukto (20 gradoj) |
1.4W/m. gradon |
|
Varmokondukteco (w/mk, 1000 gradoj) |
1.0-1.2 |
|
Refrakta Indekso |
1.4585 |
|
Koeficiento de Termika Ekspansio |
5.510 -7cm/cm. gradon |
|
Varma - labortemperaturo |
1750--2050 grado |
|
Mallonga - Serva Temperaturo |
1450 gradoj |
|
Longtempa - Serva Temperaturo |
1100 gradoj |
|
Kemiaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Acida imuna |
Forta Acido (krom HF), Forta alkala, organika solvo |
|
Altaj temperaturoj Imuna al korodo |
Bonega |
|
Metala Malpura Enhavo |
malpli ol 5 ppm |
|
Elektraj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Rezisteco |
7107Ω.cm |
|
Izola Forto |
250~400Kv/cm |
|
Dielektrika Konstanto |
3.7~3.9 |
|
Dielektra Sorba Koeficiento |
＜410-4 |
|
Dielektrika Perda Koeficiento |
＜110-4 |
|
Mekanikaj Propraĵoj |
Valoroj |
|
Kunprema Forto |
1100MPa |
|
Fleksa Forto |
67MPa |
|
Tensila Forto |
48MPa |
|
Rilatumo de Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modulo de Young |
72000MPa |
|
Tonda Modulo |
31000MPa |
Purigaj metodoj
Merga purigado:
Metu la oblaton en la purigan boaton, tiam mergu la purigan boaton en la purigan likvaĵon, kaj pliigu la kontakton inter la purigan likvaĵon kaj la oblan surfacon levante la oblan boaton por plibonigi la purigan efikon.
Spray-purigado:
Staru la purigan boaton rekte en la ŝprucĉambro, kaj uzu la ajuton por ŝprucigi la purigan likvaĵon sur la oblatan surfacon por forigi poluaĵojn.
Graveco de purigado de boatoj:
- Certigu oblatan purecon: Pura oblasurfaco estas decida al la produktadkvalito de semikonduktaĵoj, kaj la purigadboato ludas esencan rolon en la purigada procezo.
- Certigu la fidindecon de semikonduktaĵaj blatoj: Certigu la fidindecon de blatoj kaj reduktu produktajn difektojn forigante surfacajn poluaĵojn.
- Plibonigi la rendimenton de semikonduktaĵo-fritoj: Plibonigu la purecon de oblatoj, tiel plibonigante la rendimenton de semikonduktaĵo-fritoj.
Varma Etikedoj: kvarco oblato purigad boato, Ĉinio kvarco oblato purigad boato fabrikistoj, provizantoj, fabriko
Sendu demandon
Eble Ankaŭ Vi Ŝatus
